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諸分野のための数学研究会
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| 開催情報 | 火曜日 10:30～11:30 数理科学研究科棟(駒場) 056号室 |
|---|---|
| 担当者 | 儀我美一、石村直之(中央大学)、齊藤宣一、山本昌宏 |
| セミナーURL | http://coe.math.sci.hokudai.ac.jp/sympo/various/ |
| 目的 | 北海道大学のHPには、第1回(2005年6月22日)～第22回(2009年2月18日)の情報が掲載されております。 |
2009年06月03日(水)
10:30-11:30 数理科学研究科棟(駒場) 056号室
北海道大学のHPには、第1回(2005年6月22日)～第22回(2009年2月18日)までの情報が掲載されております。
須藤孝一 氏 (大阪大学)
Evolution of microstructures on crystal surfaces by surface diffusion
北海道大学のHPには、第1回(2005年6月22日)～第22回(2009年2月18日)までの情報が掲載されております。
須藤孝一 氏 (大阪大学)
Evolution of microstructures on crystal surfaces by surface diffusion
[ 講演概要 ]
We have studied the shape evolution of microstructures fabricated on silicon surfaces by surface diffusion during annealing. Various interesting phenomena, such as corner rounding, facet growth, and void formation, have been experimentally observed. We discuss these observations both from macroscopic and mesoscopic viewpoints. The evolution of macroscopic surface profiles is discussed using evolution equations based on the continuum surface picture. We analyze the mesoscopic scale aspects of the shape evolution using a step-flow model.
We have studied the shape evolution of microstructures fabricated on silicon surfaces by surface diffusion during annealing. Various interesting phenomena, such as corner rounding, facet growth, and void formation, have been experimentally observed. We discuss these observations both from macroscopic and mesoscopic viewpoints. The evolution of macroscopic surface profiles is discussed using evolution equations based on the continuum surface picture. We analyze the mesoscopic scale aspects of the shape evolution using a step-flow model.
